Ma'lumot

КОЛЕБАТЕЛЬНЫЕ СПЕКТРЫ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ ИОННО ИМПЛАНТИРОВАННОГО МАРГАНЦЕМ

Арзикулов Э. У., Салахитдинов Ф. A., Сражев С.Н, Ташбоев М. Д.


Методом спектроскопии комбинационного рассеяние света (КРС) исследованы различные пики образцов кремния, имплантированных ионами марганца энергией 40 кэВ. На основе данных КРС, полученных для образцов с различными дозами определены три характерные области: дозе первого соответствует накопление точечных дефектов (3,1∙1012 ÷ 1,2∙1013 см-2 ), второму (3,2∙1013 ÷3,0∙1014 см-2 ) и возникновение зародышей аморфной фазы, третьему (3,0∙1014÷6,0∙1014 см-2 и выше) полная аморфизация приповерхностного слоя кремния



https://doi.org/10.59251/2181-1296.v5.1292.862

Sahifalar soni 01-7 | 120 Ko'rishlar | 124 Yuklab olishlar

To'liq maqolani yuklab olish