В работе разработана золь-гель технология формирования металлоксидных газо-
чувствительных пленок на основе ZnO, TiO2 и WO3. При проведении работ по разработке данного
технологического процесса изготовлены газочувсгвительные материалы полупроводниковых сенсо-
ров Н2S, NH3 и СН4.