КОЛЕБАТЕЛЬНЫЕ СПЕКТРЫ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ ИОННО ИМПЛАНТИРОВАННОГО МАРГАНЦЕМ

Annotatsiya

Методом спектроскопии комбинационного рассеяние света (КРС) исследованы различные пики образцов кремния, имплантированных ионами марганца энергией 40 кэВ. На основе данных КРС, полученных для образцов с различными дозами определены три характерные области: дозе первого соответствует накопление точечных дефектов (3,1∙1012 ÷ 1,2∙1013 см-2 ), второму (3,2∙1013 ÷3,0∙1014 см-2 ) и возникновение зародышей аморфной фазы, третьему (3,0∙1014÷6,0∙1014 см-2 и выше) полная аморфизация приповерхностного слоя кремния