02.00.00
КОНСТРУКЦИЯ И ТЕХНОЛОГИЯ СБОРКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СЕНСОРОВ NH3 С ИНЕРТНОЙ ПОДЛОЖКОЙ НА ОСНОВЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛАСТИН
З.Б.Муродова, И.Э.Абдурахманов, М.А.Мамирзаев, Э.Абдурахманов
Nashr: №99
04.02.2023
684 marta o'qildi
398 ta yuklash
11 bet
Annotatsiya
Разработана конструкция и технология сборки полупроводникового сенсора NH3 с инертной подложкой на основе диэлектрических пластин. Исследована зависимость сигнала сенсора от концентрации аммиака в воздухе. Установлено, что в изученном диапазоне концентраций зависимость сопротивления полупроводникового слоя (SiO2/TiO2+Fe2O3) от количества аммиака в смеси, имеет нелинейного характера.
Kalit so'zlar:
сенсор
конструкция
технология
инертной подложка
оксида
алюминия
платина
аммиак.