АНАЛИЗ, ТЕРМИЧЕСКАЯ СТАБИЛЬНОСТЬ, МОДУЛЬ УПРУГОСТИ И ТВЕРДОСТИ НА ГРАНИЦАХ ЗЕРЕН СВЕРХТВЕРДОГО НАНОКОМПОЗИТНОГО ПОКРЫТИЯ Zr-Si-N-Ti

Annotatsiya

В статье обсуждаются различные подходы к формированию нанокомпозитных покрытий с высокой и сверхвысокой твердостью в диапазоне от ≤ 30 до 100-327 ГПа. Основное внимание уделяется анализу механизмов увеличения твердости в тонких ≤ 10мкм покрытиях. Рассмотрено несколько вариантов получения нанокомпозитных многокомпонентных покрытий методами магнетронного распыления, ионно – стимулированного и вакуумно – дугового осаждения. Даётся классификация твердых и сверхтвердых покрытий с высокой термической стабильностью. Показаны возможные применения наноструктурированных покрытий и некоторые перспективы дальнейшего развитие этого направления