В работе представлены результаты новых исследований по созданию защитных оксидных покрытий на основе Al2O3(Si, Mn) на сплавах с помощью электронноплазменного оксидирования. Анализ проведенный с помощью растровой электронной микроскопии SEM с EDS (энергодисперсным микроанализом), рентгено-фазового анализа (XRD), Резерфордовского обратного рассеяния ионов (RBS) ионов 4He+ и протонов показал хорошее качество покрытия и высокой твердостью и стойкостью к износу и температуропроводности. Показано что наряду с Al;O; в покрытии находится Si, Mn и Ca. Определена стехиометрия данного покрытия. Плотность и твердость покрытия близка по значениям к -фазе Al2O3.